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管式炉(CVD管式炉)

1100滑轨式管式炉

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2019-12-28     浏览次数:    

FGLRTP系列滑轨式管式炉(T max 1100)

   滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

特点

1、工作温度RT1000℃。

2、智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序。

3、采用陶瓷纤维FEC加热模块,电阻丝内嵌式环绕加热。

4、炉壳结构,双层炉壳风冷结构。

5、不锈钢双层密封法兰,进、出气美标针阀。

6、两端可调节式法兰支撑结构,延长石英管的使用寿命。

7、超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电。

8、安全保护当炉体漏电时自动断电。

 

额外选配    炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);

真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);

气氛系统(浮子流量计、质量流量计);

监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控);

           注:选件需配置拓展柜体;

技术参数

 

设备型号

最高温度

管径

加热区

温区数

热电偶

电压

功率

FGL(RTP)-40/11/1

1100

40mm

320 mm

1

K

220V

 

 

3.0KW

FGL(RTP)-50/11/1

1100

50mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-60/11/1

1100

60mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-80/11/1

1100

80mm

320 mm

1

K

220V

注:给出的最高温度为工作管外测定,其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。



网址: www.facerom.com.cn

销售热线:0551-6899 8684,139 6671 8548 方先生

邮箱: sales@facerom.com




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